极端精密智能制造研发与测试平台—飞秒激光精密智造装备研究与可靠 性分析测试平台

激光技术一直受到国家发展规划支持。目前，我国工业基础薄弱，导致国产飞秒激光智造装备的可靠性水平与国外发达国家相比差异十分显著，其主要零部件几乎依赖进口，严重制约了我国高端制造业的健康发展。为了满足新时代国家重大战略及国民经济领域迫切需求，亟需加大飞秒激光精密智造技术和装备可靠性方面的研究，建设极端精密智能制造研发与测试平台—飞秒激光精密智造装备研究与可靠性分析测试平台。

极端精密智能制造研发与测试平台—飞秒激光精密智造装备研究与可靠性分析测试平台建设，主要进行激光技术相关研究与试验。根据国家发展和改革会第21 号令《产业结构调整指导目录（2011 年本）（修正）》，本项目属科技服务业中“实验基地建设”，为国家鼓励类产业，符合国家产业政策。

本项目已取得国家发展和改革委员会同意，见发改高技【2017】2241 号，项目代码2018-000052-73-01-000618。文件中关于西安光机所“十三五”科教基础设施建设内容及规模为：飞秒激光精密智造装备研究与可靠性分析测试平台，包括核心部件研究及可靠性分析测试分平台、关键系统研究及可靠性分析测试分平台、智能装备研究及可靠性分析测试分平台、装备与工艺标准研究分平台。

项目购置69 台（套）仪器设备，建设极端精密智能制造研发与测试平台—飞秒激光精密智造装备研究及可靠性分析测试平台，开展飞秒激光精密智造装备及其可靠性研究，试验过程仅进行测试、验证、分析、鉴定等，各测试、试验仪器设备使用频率约为2~3 次/月，重点进行数据采集分析3研发，不涉及生产。该平台下设四大核心研究分平台，其中包含核心部件研究及可靠性分析测试分平台、关键系统研究及可靠性分析测试分平台、智能装备研究及可靠性分析测试分平台、装备与工艺标准研究分平台。

主要仪器及设备表

飞秒激光器可靠性设计仿真（分析、模拟、设计软件）

飞秒激光器工艺研究与可靠性检验

高频高速脉冲信号诊断系统

激光增益介质光谱特性测量系统

飞秒激光束远场时空分布特性测试系统

飞秒光纤激光器特种熔接工艺可靠性检测系统

激光束近场及焦点测量分析系统

超短脉冲光学快门扫描分析系统

超短脉冲激光时域频域参量高速光电检测分析系统

激光器综合参数相关性实时测量系统套
光纤光栅啁啾参量和生产工艺可靠性测试系统套
 飞秒激光器整机环境可靠性研究及测试台

光束扫描系统可靠性设计仿真（模块软件）

光束扫描系统可靠性测试台
光束扫描系统可靠性测试平台台
高速高精度激光扫描轨迹重建及分析系统台
超高精度双反射式扫描单元综合性能检测系统台
超高速扫描单元综合性能检测系统台

工艺原理可靠性研究、测试与验证台
超短脉宽飞秒激光加工工艺研究工作站台
百瓦级三波段飞秒激光加工工艺研究工作站台

高功率双光源复合加工工艺研究系统台
工艺加工效果检测评

以上由激光平台整理

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