飞秒激光精细微加工系统

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工作条件：

1.1 无尘室

1.2电源单相220V AC、50Hz、30A，设备功耗< 9KW

1.3压缩空气0.6-0.8Mpa，快速接头，< 耗气量40m³/h                        

1.4风机排风排风量< 30m³/min

1.5设备尺寸< 2000mm（L）X2000mm（W）X2500mm（H）

1.6设备重量< 2800㎏

设备用途：

2.1  设备用途：

本次购置的飞秒激光精细微加工系统，配有超短脉冲飞秒激光器，结合高性能的外围配置，主要对半导体基板（硅、碳化硅、砷化镓、）石英、玻璃、陶瓷的激光切割、打孔和刻蚀加工。同时该设备具备各类材料如金属（不锈钢、铜、铝、镍等）、有机材料（PC、PE、PI）、各类等材料的切割、打孔和刻蚀加工。

2.2  ★设备主要构成和配置方案：

飞秒激光器、双光路传输系统和振镜控制系统、3轴运动定位系统、电控系统、软件系统、内部抽尘系统。由投标人提供设备配置方案需满足买方应用使用要求。

★产品配置要求，产品主体部分说明

3.1 激光器，采用进口飞秒激光器（提供厂牌、型号和报价单），平均功率：> 20W；中心波长：波长范围（300~1064 nm）；脉宽：300fs ~ 10ps；

3.2 3轴运动系统，设备选用平台为X-Y-Z三轴直线电机驱动平台，X-Y轴相互垂直叠加用于精确移动工件位置，Z轴实现激光焦点的精确控制，定位精度±2μm.

3.3 加工样品：8 英寸及向下兼容

3.4 电气系统：工控计算机、显示器、设备状态显示灯

3.5软件系统

3.6 光路系统,振镜扫描系统和光路传输系统

加工样品技术指标，需提供相应加工证明。 

4.1.厚度300μm石英玻璃，最小加工孔径50μm通孔，出入孔锥度＜5μm；

4.2对厚度小于0.5mm玻璃片，热影响<5um切割崩边小于10μm（熔融石英）；

4.3厚度50μm不锈钢，最小加工孔径10μm通孔；

4.4厚度50μm聚酰亚胺薄膜，最小加工孔径小于30μm；

4.5可对钽酸锂沉底加工30μm深，10μm宽的盲槽；

4.6可对金刚石沉底加工100μm深，30μm宽的盲槽；

4.7石英、玻璃快速切割工艺，可辅助其他条件实现。

系统配置技术指标

5.1 激光器指标如下： 

5.2 3轴运动系统技术指标

设备选用平台为X-Y-Z三轴直线电机驱动平台，X-Y轴相互垂直叠加用于精确移动工件位置，Z轴实现激光焦点的精确控制。指标如下：

5.3 光路系统主要指标，

5.3.1 振镜扫描系统，采用数字式振镜，具体指标如下： 

  5.3.2 传输系统，包括扩束镜、反射镜等光学元件 

5.4 电气系统 

5.4.1电控部分主要用于界面操作和上层逻辑运算，运动轨迹实现；

5.4.2 对产品进行定位和识别；

5.4.3 用来实现三色灯状态显示，吹气，吸附等功能开启或关闭。

5.5 软件系统

5.5.1 软件可按照需求进行各种定制化设计，并支持后期的升级服务。

5.5.2 主要功能：软件系统主要功能读取加工图纸转化成机器可识别的指令，配合硬件定义各种加工参数范围，控制设备运行和监控故障报错，包括工控机、多级管理、安全操作、图档导入、存储与导出功能、图形在线编辑、工艺专家数据库、端口监测、错误诊断、半自动寻焦功能、振镜矫正功能、识别与精确定位、各部件独立控制、简易测量功能、分层进级功能。

6. 选购附件、备件及消耗品

6.1 查询项目

★6.1.1要求的附件、专用工具和消耗品

6.1.2 其它保证仪器设备的正常运行和常规保养所需的附件、专用工具和消耗品。

6.2  投标人推荐的其它选件

6.3  询问延长保修期半年、1年、2年、3年的价格。         

7.  技术文件： 

7.1 参考行业。

8.  技术服务： 

设备安装调试

设备到达用户现场后，在20个工作日内人完成设备的安装、调试，自备安装、调试专业工具，30个工作日内进行整机设备的验收。

验收标准按以下进行：

货物验收按照合同中的供货清单清点设备、辅助设施、相关配件及辅具、备品、备件等

设备功能测试

技术资料验收（参照4产品配置要求和5技术规格指标）

验收报告书

技术培训: 人员培训

 设备验收合格后，在用户现场对指定技术人员进行3个工作日的技术培训，主要的培训内容如下：

常用绘图软件的使用培训；

控制软件的使用培训；

开关机操作规程培训；

面板及软件控制参数的意义，参数选择范围的培训；

机器的基本清洁处理和保养；

常见硬件故障处理；

操作中应注意的问题；

除此之外还为用户提供其所生产产品的相关工艺支持。

公司为用户人员按照操作员和工程师等不同级别，提供不同级别的培训

如要求卖方提供用户所在地培训的有关事项（如人数，时间等）在此列出

保修期：

★8.3.1设备质保期为双方签订终验收合格报告之日起12个月。

8.3.2 在质量保证期内正常使用条件下，对设备出现的故障提供免费维修，零部件损坏须及时免费更换，易损件除外，更换相关的部件，所产生的费用由投标人负责投标人自备安装调试及维修用工具。

维修响应时间

8.4.1设备的维修保障及时有效，在接到用户故障报告后，应在4小时内电话响应，两个工作日内到达现场，五个工作日内恢复设备工作。

8.4.2若设备在保质期内发生故障，不能在五个工作日内恢复生产，提供备用设备完成相关的紧急加工任务。超过一个月无法恢复设备生产，质保期顺延。

要求卖方提供的其它技术服务内容（如软、硬件升级要求等）

软件保证终生免费升级。提供设备机械、电气原理图，关键部件选型清单，设备操作、维护、维修手册（纸本和电子档）。

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