事业内容 : 半导体光刻用准分子激光机、其他用途准分子激光机以及极紫外光刻(EUV)的开发、制造及销售
设立日期 : 2000年8月1日
注册资本 : 50 亿日元
主要股东 : 株式会社小松制作所
公司所在 地 : 栃木县小山市横仓新田400 (邮编: 323-8558)
员工人数 : 669名 (至2018年4月1日止)
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