1. 概述

EW1000 是一款高精度、宽光谱专用波片检测仪。

EW1000 采用国际先进的椭偏光学调制测量原理、专

门用于波片的全面质量检测，如相位延迟差、快慢轴、

透射率测量。

EW1000 适用于波片生产过程中的质量监控、质量终

检、以及新型波片研发中。

1.1. 技术特点

（1） 快速、精确的测量与分析

（2） 光谱范围根据配置可选，从紫外到近红外

（3） ETEW 功能强大的测量与分析软件

（4） ETEW 向导设计，简化操作，适合新手和专家

1.2. 基本功能

（1） 波片相位延迟差检测

（2） 波片快慢轴方位角检测

（3） 波片总透过率检测

（4） 波片快慢轴透过率检测

（5） 波片均匀性检测

（6） 波片快慢轴方位标记*1）

（7） 偏振片消光比、透光轴方位、透射率检测*2）

（8） 旋光片旋向、旋光度、透射率检测*2）

备注：

*1) 为扩展功能，可选购相关配件。

*2) 为高级扩展功能，可在标准机型上升级，或可选购EPC 系列多功能偏振器件检测仪。

1.3. 应用范围

适用于：

（1） 波片生产中的过程质量控制，极大地提高产品一次合格率。

（2） 波片生产中的快慢轴标记。

（3） 波片入库的高标准终检。

（4） 波片的性能特性研究、新型相位延迟片的研发。

（5） 相位延迟膜的测量。

（6） 偏振光学系统中高质量器件的筛选和优化，提高产品整体品质。

可检测的样品种类：

（1） 各种原理制造的波片：

 光学波片：如，相位延迟片单片、组合波片

 电光波片：如，液晶相位延迟器

（2） 单波长或消色差波片

（3） 单级或多级

（4） 单个裸片或在基板上的波片

2. 技术优势

（1） 非接触、非破坏性：利用光波进行非接触测量，对样品无任何破坏性；

（2） 测量速度快：秒级完成一次波片位相延迟差测量；

（3） 检测灵敏度高：位相延迟精度优于λ/1000；

（4） 宽光谱范围：仪器光谱从可见到红外，适用于绝大多数单波长波片以及消

色差波片检测；

（5） 明确判断快慢轴：可明确区分快慢轴，避免混淆；

（6） 生产过程与基板一同检测：波片生产过程中，样品可在基板上进行检测，

检测过程无需人工干预；

（7） 一键式操作：只在软件点击一个按钮，即可完成整个测量过程。

快速摄谱型 光谱椭偏仪

1. 概述

ES01系列是ELLITOP针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度快速摄谱型光谱椭偏仪，波长范围覆盖紫外、可见到红外。

ES01光谱椭偏仪基于高灵敏度探测单元和光谱椭偏仪分析软件，用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和物理参数（如，折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2），也可用于测量块状材料的光学性质。

仪器特点：

 快速、精确的椭偏测量与分析

 光谱范围根据配置可选，从紫外到红外

 步进补偿器扫描测量模式

 宽带超消色差补偿器

 多象限误差消除方法

 ETES功能强大的光谱椭偏测量与分析软件

 ETES向导设计，简化操作，适合新手和专家

 ETES专有的材料数据库和预设的软件应用程序，简化建模

2. 技术特点

（1） 先进的旋转补偿器测量技术：Delta测量范围0-360°，无测量死角问题，也可消除粗糙表面引起的消偏振效应对结果的影响；

（2） 秒级的全光谱测量速度：全光谱测量典型3-5秒；

（3） 原子层量级的检测灵敏度：可以测量单原子层；

（4） 视频式样品对准：精确完成样品对准，并方便观察，减小人为误差；

（5） 多入射角度调节：多入射角度结构设计，增强了仪器测量的灵活性，尤其适合于超薄样品或复杂的样品的测量场合；

（6） 反射率/透射率测量：对样品进行光谱透射率和反射率测量；

（7） 整体集成机柜：仪器整体集成在一个机柜中，节省占地面积；

（8） 一键式仪器操作：对于常规操作，只需鼠标点击一个按钮即可完成复杂的测量、建模、拟合和分析过程，丰富的模型库和材料库也同时方便了用户的高级操作需求。

偏振态检测仪

EPA01 是针对研发、制造过程、工业检验领

域推出的高精度偏振态检测仪，仪器光谱范围覆

盖紫外、可见、红外。

EPA01 偏振态检测仪适用于对连续输出的光

波偏振态进行检测（包括，自由空间传播的光波，

以及基于光纤传播的光波），并用Poincaré 球、

椭圆度、Stokes 矢量等方式表示。

EPA01 偏振态检测仪的基本功能包括：

 光波偏振态（SOP）测量

 光波偏振度（DOP）测量

 确定波片、偏振片等光学组件的光学性能

 对准保偏光纤与激光器模块

 检测光纤的消光比

EPA01 偏振态检测仪可对各种光波偏振态的研究，适用于：

 自然光；

 部分偏振光；

 完全偏振光（包括：一般椭圆偏振光、圆偏振光、线偏振光）。

可进行各种方式的测量：

 静态测量：静态下光源偏振态的分布及变化；

 实时测量：随时间的变化，光源偏振态的变化规律。

可对各种光源的偏振态进行研究，比如：

 近自然光源：氙灯 、卤钨灯、氘灯、LED 灯等；

 激光光源：He-Ne 激光器、YAG 激光器、半导体激光器等；

 其它光源：天体宇宙光。

可通过对影响偏振态变化的材料进行研究，包括：

 块状材料；

 薄膜材料等。

可用于检测偏振器件的消光比，包括：

 线偏振光源：各类激光器

 保偏光纤。

2. 技术特点

（1） 先进的测量技术：采用旋转补偿器的测量方法，可得到偏振度、方位角、

椭率角、偏振椭圆旋向、Stokes 矢量的全部4 个参数等信息；

（2） 大动态范围：光能量输入的动态范围大，并可通过选配件测量更大功率

范围的光波；

（3） 宽光谱范围：光谱范围覆盖紫外、可见、红外。

（4） 高精度的检测灵敏度：高稳定的核心器件、高质量的设计和制造工艺实

现并保证了高精度的测量结果；

（5） 可扩展的光谱范围：可根据实际需要，方便地拓展光谱范围；

（6） 灵活的接口：可对自由空间传播的平行光，以及光纤输入的光波的偏振

态和消光比进行检测。

 

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