上海微泓自动化设备有限公司
SHANGHAI MICRO-MOSION AUTOMATION CO., LTD.
中国(含港澳台) |
光学测量系统
航天/航空 | 高等院校 | 电气工程/电子/半导体 | 非大学研究机构 | 光学 | 光伏 | 印刷/制图 | 工程机械
http://www.sh-micromotion.com/产品类别：传感器、测试测量 > 设备、系统光学参量测量系统
产品属性：新品（非首发）
应用领域：航天/航空、高等院校、电气工程/电子/半导体、非大学研究机构、光学、光伏、印刷/制图、工程机械
产品mPT-SR-S66F-55-MI-J3属于mPT-SR-S系薄型精密直驱转台产品，其外形直径为Ф66mm，高度为55mm，采用高精度的机械轴承作为支承，自主研发的直驱电机驱动，高精度绝对式编码器作为位置反馈，性价比高的标准型直驱转台。位置分辨率0.08arc-sec，±20arc-sec的定位精度。主要应用于3C及电子制造，激光加工，测量与检测。其应用实例：晶圆传输，镀膜机，旋转覆膜机，FPD贴合设备和检测设备，模切机，丝网印刷机，分拣机等。
产品类别：传感器、测试测量 > 设备、系统光学参量测量系统
产品属性：新品（非首发）
应用领域：航天/航空、高等院校、电气工程/电子/半导体、非大学研究机构、光学、光伏、印刷/制图、工程机械
产品mPT-SR-P115F-70-LI-J3属于mPT-SR-P系列低压驱动薄型精密直驱转台产品，其外形直径Ф115mm，高度为70mm。洁净直驱转台产品采用高精密机械轴承作为支承，自主研发的直驱电机驱动，采用绝对式编码器，作为位置反馈。位置分辨率小于0.02arc-sec，定位精度小于8arc-sec，重复定位精度小于4arc-sec，轴向运动误差小于2.5μm，径向运动误差小于5μm，洁净等级ISO Class 4，表面温升不超过30°C 。其应用实例：90-14nm光刻机的掩模版传输系统中，也可应用于高速激光加工，高精度硅片检测等领域。
产品类别：传感器、测试测量 > 设备、系统光学参量测量系统
产品属性：新品（非首发）
应用领域：航天/航空、高等院校、电气工程/电子/半导体、非大学研究机构、光学、光伏、印刷/制图、工程机械
产品mPT-SR-P352L-58-LI-J3属于mPT-SR-P系列低压驱动薄型精密直驱转台产品，其外形直径为Ф352，高度为58mm。洁净直驱转台产品采用高精密机械轴承作为支承，自主研发的直驱电机驱动，采用绝对式编码器，作为位置反馈。位置分辨率小于0.02arc-sec，定位精度小于8arc-sec，重复定位精度小于4arc-sec，轴向运动误差小于2.5μm，径向运动误差小于5μm，洁净等级ISO Class 4，表面温升不超过30°C 。其应用实例：90-14nm光刻机的掩模版传输系统中，也可应用于高速激光加工，高精度硅片检测等领域。
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