Next Scan Technology-Polygon Scanner System LSE高速扫描转镜-福唐激光友商

超快脉冲激光器是金属，玻璃，硅，陶瓷和薄膜等材料加工的新主力。经过验证，使用超快脉冲激光加工能够达成高产量和高效率的优势。它这种潜力现在可以和我们的扫描仪一起使用而发挥出来。

Next Scan Technology (NST) 为新型纳秒脉冲和超短脉冲激光器引入了新颖扫描仪系统，以实现最佳的材料加工。我们提供最广泛的多边形扫描系统，其中的特征包括了：不同的大面积扫描区域，不同的工作波长和小的聚焦光斑尺寸。

NST的主要科技是紧凑的一体化多边形扫描头。我们采用了专利镜面光学元件，以便在整个扫描区域内提供全远心的小的光斑。这种即用型解决方案通过SuperSync Control，TrueRaster技术和High NA光学器件等创新功能实现卓越性能。此外，为了获得最佳的工艺效率，我们也提供定制服务。

用於逐行處理的高速掃描轉鏡Polygon Scanner System LSE

用於逐行處理的高速掃描轉鏡 對於各種材料的超精密微加工，超短脈衝（USP）雷射是最佳的 選擇，因為它適合以冷燒蝕方式特別精細和有針對性的去除材料。為了實現工業級生產率，USP激光器必須與超快掃描頭（如 多邊形掃描轉鏡系統）結合使用。 多邊形掃描轉鏡特別有利於以線性，全表面式的處理工件和面。 這些系統能通過高速，大大的減少材料處理的時間。USP雷射加 工的應用範圍很廣大：從觸摸屏表面圖案化或太陽能電池劃線，到微電子鑽孔，和電子元件玻璃和塑料加工，甚至傳感器製造都 能使用。 Next Scan Technology提供各種多邊形掃描轉鏡系統，也允許定制，以實現最佳效率。

高通量光柵處理 Next Scan Technology的多邊形掃描轉鏡系統都經過優化過程以實現最高掃描速度的穩定性和準確性。我們的掃描系統採用旋 轉多面鏡的理念來進行快速線掃描。再加上通過垂直於多邊形輪 掃描方向移動的外軸或薄膜，長的面積處理能夠被實現。 我們的掃描轉鏡一般用於常規柵格式的全表面處理。通過一個能 夠輸出用戶定義位圖的功能，雷射可以以像素精準式的被控制， 從而能夠造出個體曝光圖案。 通過高精準度的執行器和先進的控制功能（如SuperSync和 TrueRaster），便可以達到在掃描策略的靈活性和最高準確性。

全遠心光學系統 Next Scan Technology的線掃描引擎（LSE）是由集成的全遠 心鏡組成的緊湊型一體化掃描頭，好以最高性能處理大面積的問 題。在使用高功率傳統激光器和拼接掃描頭時，基於鏡像的概念 可以通過交錯或串聯配置和互補控制來定制特定應用的程序。

多邊形和失真校正當需要時，兩個高精度執行器會補償多面鏡的錯誤以及圖像面積 失真。這被稱為TrueRaster的技術除了能夠提供校正過的精度， 同時也在高通量的條件下確保精準，高質量的光柵處理。

同步功能 一般與該系統一起使用的超短脈衝雷射都會配備內部時脈來調節雷射發射的時間點。SuperSync提供專有的同步功能來觸發激光 器，以保證光斑的重複性-這對於高質量的微加工至關重要。

智能控制 專有的SuperSync和TrueRaster能夠滿足重複性和準確性的要求之餘，智能掃描策略（如交錯和徘徊掃描）同時提高了處理質量。這些特徵對於要求單脈沖之間的空間分離，高直線度或相同 的重複處理尤為重要。

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