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一、振镜式激光加工整套光学系统
①功率:光纤连续激光6KW
②无热化结构设计,高温焦漂:< 0.5mm
③系统定位精度:1urad,重复位置精度:2urad
④振镜扫描精密加工,效率高,速度快
⑤可配套软件支持,也可配套视觉与跟踪系统,实现工艺全功能需求
⑥可定制:模块化结构,便捷灵活。
二、光学元器件：
QBH准直模块、扫描振镜、F-Theta场镜、合束镜、反射镜、准直镜、聚焦镜、保护片等。
①材料:进口超低吸收熔石英
②膜层吸收率:< 20ppm
③损伤阈值: 40J/cm²,10ns
④功率可达:15000W
⑤准直系统波前:< λ/10
⑥无热化结构设计,高温焦漂:< 0.5mm
⑦可定制:特殊聚焦能量分布设计。
一、整套光学系统
·F-Theta场镜焦深长
·系统定位精度:1urad,重复位置精度:2urad
·振镜扫描精密加工,效率高,速度快
·可配套软件支持,也可配套视觉与跟踪系统,实现工艺全功能需求
·可定制:模块化结构,便捷灵活
二、光学元器件
QBH准直模块、F-Theta场镜、反射镜等
·材料:进口超低吸收熔石英
·功率可达:光纤脉冲激光1000W
·损伤阈值: 40J/cm²,10ns
·膜层吸收率:< 20ppm
·准直系统波前:< λ/10
·F-Theta场镜焦深长
·可定制:特殊聚焦能量分布设计
一、SLM整套光学系统
①功率可达:光纤连续激光单模1KW
②加工幅面可达:450mm*450mm
③聚焦光斑:0.04mm-0.15mm
④定位精准,分辨率高达:1μm 系统定位精度:1urad,重复位置精度:2urad
⑤最快扫描速度可达:5000mm/s
⑥能量损耗小、发热量低、结构紧凑、集成度高、系统优化、长期稳定性好。
二、SLS整套光学系统
①超大加工幅面:2000mm*2000mm
②全闭环结构,定位精度高0.1μm,重复精度:0.3μm
③无关节传动,响应速度快,track error ≤0.7ms
④支持XY2-100国际通用协议
⑤采用先进的伺服控制算法和高效的光电传感定位技术
⑥整个系统采用电磁兼容优化设计,信噪比高,抗干扰能力强
⑦内置自定义驱动,可实现市场标准二维操作软件对本系统的三维操作,无需更换专门三维动态软件。
三、SLA光学元器件：
F-Theta场镜、扩束镜、反射镜、可变光斑模块等。
一、振镜式激光加工整套光学系统
①功率:光纤连续激光8KW
②无热化结构设计,高温焦漂:< 0.5mm
③系统定位精度:1urad,重复位置精度:2urad
④振镜扫描精密加工,效率高,速度快
⑤可配套软件支持,也可配套视觉与跟踪系统,实现工艺全功能需求
⑥可定制:模块化结构,便捷灵活。
二、动力电池激光加工光学元器件：
QBH准直模块、扫描振镜、F-Theta场镜、合束镜、反射镜、准直镜、聚焦镜、保护片等。
应用：极耳切割、动力电池清洗、动力电池焊接等。
一、激光加工整套光学系统
①扫描速度可达：30m/s(F255)
②无热化结构设计，高温焦漂：< 0.5mm
③重复定位精度：2μrad，分辨率：1μrad
④超低吸收、能量损耗小、发热量小，长期稳定性好
⑤可配套软件支持，也可配套视觉与跟踪系统，实现工艺全功能需求
⑥模块化结构设计，客户可灵活定制
二、光学元器件：F-Theta场镜、扩束镜、反射镜、准直模块等。
超快激光加工光学元器件
一、激光精细微加工光学元器件
光学元器件：远心场镜、变倍扩束镜、反射镜等。
①波长:355nm/532nnm/1064nm/10600nm,可承受皮秒、飞秒激光
②高损伤阈值:10GW/cm²
③高透过率/高反射率:99.8%
④高精度,装配误差小:< 0.05mm
⑤远心场镜幅面可达:175mm*175mm
⑥远心场镜:大入射光斑设计,能兼容不同振镜配置
⑦定倍及变倍扩束镜:大口径设计,能兼容各种聚焦光斑尺寸；
二、脆性透明材料/硅晶圆激光加工光学元器件：
光学元器件：贝塞尔切割头、物镜、锥透镜等。
①波前误差:λ/10
②高损伤阈值:10GW/cm²
③贝塞尔切割头中心聚焦光斑:2μm-5μm
④切割玻璃厚度:0.1mm-3.0mm
⑤热效应低,崩边小
⑥可定制:贝塞尔切割头、单元组件等
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