作者：Sami Laroui
微激光钻孔是工业中最常见和最常用的激光加工之一。各种各样的激光光源类型可以处理各种材料（金属、陶瓷、半导体、聚合物和有机材料等），具有前所未有的可重复性、准确性和速度。微钻孔在许多行业中都很突出，例如汽车、航空航天和电子，甚至激光手术和食品行业。例如，该工艺能够将高纵横比钻孔降至微米级，最近已为汽车行业开发了新的喷嘴，将发动机燃油效率提高到30％。1
超短脉冲激光
钻更小的孔、提高钻孔速度、提高孔的精度和质量，以及降低工艺的能耗，导致对提高工业加工的产量和质量的不断需求。这符合新的特定需求，带来新的激光钻孔技术的正常发展。最新的主要创新之一，是使用所谓的超短脉冲激光（USP）微加工工具。
超短脉冲激光器通常以高重复频率（有时每秒超过十万个脉冲）提供短而强的光脉冲。这些激光器的突出特点，是它们可以在极短的时间内，大约一皮秒（10-12秒）到几十飞秒（10-15秒），集中脉冲的发光强度。每个脉冲都带有一定量的能量，但其短促性使其能够获得相当高的峰值功率（高达几十瓦）。对于USP激光，脉冲是如此短而且有能量，以致它们几乎瞬间去除被照射的材料。这些激光器的超短脉冲不会像更常规的激光那样，通过能量被吸收为热量来移除材料，而是在没有热效应的情况下导致物质的电离。这种效应被称为冷烧蚀，允许最小的内部应力、裂缝、毛刺和其他通常由吸热引起的缺陷。2USP激光可以每秒快速钻高达数千个孔，7直径小于任何其他工艺（几微米；见图1）。此外，由于该工艺对加工材料的后处理很少或几乎不需要，因此高速激光器可以以较低的成本提供高生产率，4并且越来越紧凑和经济的商用USP激光的可用性，证明了它们用于越来越多的工业应用。
图1：由飞秒激光脉冲钻出的燃料喷射头孔。
激光光束整形
然而，为了真正最大化该加工的有效性、质量、分辨率和效率，有必要应用适合于给定应用的激光光束整形技术。激光光束自然具有不均匀的横向能量分布（见图2），这可能导致不必要的能量损失、不准确性和钻孔不规则性。材料的类型、孔的参数、钻孔的质量和生产率都是需要考虑的因素，并且需要优化激光脉冲的强度在加工材料中的分布方式。
图2：激光光束强度的不均匀分布。
Gaussian intensity profile：高斯强度分布
Intensity：强度
Transverse position：横向位置
Spot diameter：光斑直径
Processing threshold：加工阈值
Wasted energy：损失的能量
根据具体应用的需要，可能需要均匀地集中激光能量，将光束整形成一定的轮廓，或甚至生成若干光束以同时处理多个区域4,5并增加工艺的生产率。例如，一种常用的光束形状是平顶轮廓（见图3a），这使得可以获得均匀强度的激光光斑，从而以更好的分辨率和规则的深度穿透。6
另一种常用的形状是贝塞尔光束，它使传播的能量在长距离上强烈聚集在小而细长的区域中（见图3b）。因此，对于具有高纵横比（深度与直径比远大于10:1的孔）的小直径孔（有时直径小于微米）的钻孔特别有用。该形状特别用于加工透明材料，8例如玻璃或蓝宝石。对于更具体的应用，可能需要产生更特定几何形状的光束，例如使用无掩模光刻来加工光子晶体或电子微元件。
因此，需要优化该工艺以将激光光束整形单元集成到激光微钻孔系统中。存在几种类型的光束整形技术，例如折射光学元件（ROE）、衍射光学元件（DOE）和空间光调制器（SLM）。这些技术通常以规模化生产使用，但取决于应用，它们往往在可获得的形状类型方面受到限制，受到浅景深（钻孔的有用深度）的影响，并且可能具有降低的效率和高价格。
最近，多平面光转换（MPLC）技术在光束整形方面提供了大量的自由度，同时具有高转换效率（> 95％）。MPLC技术自2013年开始由法国CAILabs公司开发，在整形参数、景深和能效方面取得了创纪录的成果。它可以为激光行业生成标准形状，例如平顶和贝塞尔光束（见图3），以及针对更具体应用的定制形状，无论使用何种波长。此外，它还提供了新功能，例如多个光束的合束整形，可以生成复杂的形状。
图3：平顶光束轮廓（a）和贝塞尔光束的实验强度分布（b）。
Intensity：强度
Transverse position：横向位置
Spot diameter：光斑直径
Processing threshold：加工阈值
Wasted energy：损失的能量
Propagation distance：传播距离
展望
USP激光光源的不断发展，特别是在功率、效率和成本方面，使得USP激光微钻孔成为可以被越来越多的应用所使用的工艺。该技术长期用于小批量生产的原型设计和微加工应用，现在以越来越高的生产率，用作越来越多的大规模应用的顶级方法，例如制造动脉支架、OLED面板和注射头。9为了确保足够的生产率和最佳的加工质量，激光光束整型可以最大限度地提高加工效率。这就是为什么有必要采用光束整形技术，伴随着工艺的发展，能够应对新的微激光钻孔应用的挑战。
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