打破光刻机技术垄断 清华系的华卓精科拟上科创板

《科创板日报》 （上海，记者 吴凡）讯，谈起半导体设备——光刻机，可能大部分人的第一反应是全球光刻机的“霸主”ASML（阿斯麦），其在光刻机设备方面已经形成了寡头垄断，2018年全球光刻机市场上，ASML的市场占率高达89%。

相比之下，国内光刻机厂商则显得非常落后，因此一些芯片厂商往往会斥巨资向国外进口设备，比如2018年5月，中芯国际斥资1.2亿美元向 ASML 购买了一台EUV光刻设备。但需要注意的是，根据瓦圣纳协议，ASML出口EUV到中国需要取得荷兰政府的出口许可。

为了解决类似这一“卡脖子”的问题，一家来自北京的光刻机生产商正尝试向ASML发起挑战，11月15日，北京证监局披露了“北京华卓精科科技股份有限公司”（以下简称“华卓精科”）的第三期辅导工作报告，公司拟登陆科创板。

据公司官网显示，其生产的光刻机双工件台，打破了ASML公司在工件台上的技术垄断，目前，已经基本实现了在光刻方面不再受制于人。

高管背景是清华系

公开资料显示，华卓精科由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和02专项的支持下创立，公司官网介绍称，其建立初衷在于将清华大学在02专项中积累的高端垄断技术落地产业化，通过“技术辐射&下行”的方式，面向国内市场提供产业界急需的高端零部件、子系统类产品。

《科创板日报》记者了解到，成立至今，华卓精科获得过多轮融资，其中在公司挂牌新三板期间，公司共实施了5次定向增发，合计定增募资总额约为1.42亿元。

2018年11月5日，华卓精科披露了其挂牌期间的最后一次定增情况，报告显示，华卓精科此次发行对象为浑璞集成电路、浑璞璞玉六号及红星美凯龙（认购金额990万元），拟以每股15元的价格发行股票数量为505.83万股，共募集资金7587.50元，前述资金主要用于公司半导体装备关键零部件研发制造项目、补充流动资金、偿还银行贷款、购买土地使用权。

2019年2月13日起，华卓精科终止在新三板挂牌。

天眼查显示，目前公司的股权结构中，公司董事朱煜持股比例37.77%，另外朱煜还通过员工持股平台——北京艾西众创科技发展中心（有限合伙）间接持有公司股份。

记者了解到，朱煜为工学博士，清华大学教授，2001年7月至2004年9月在清华大学从事博士后工作，2015年9月起，担任华卓精科董事职务，为华卓精科首席科学家。

根据华卓精科于新三板挂牌期间披露的2018年半年报，朱煜被认定为是公司实控人，另外，朱煜与徐登峰、张鸣、杨开明、尹文生、胡金春、穆海华、成荣等 7 位自然人股东共同签署《一致行动协议》。

《科创板日报》记者梳理发现，徐登峰、张鸣、杨开明也均系清华毕业、在公司担任高管，同时均持有公司股份。

打破掣肘

2018年半年报显示，华卓精科实现营收3193万元，同比增长44.53%；实现归属于挂牌公司股东的净利润683.67万元，同比下滑10.34%。

相较于经营数据，公司的主营业务更值得关注。

华卓精科官网显示，公司的主营产品包含高端整机、超精密运动系统、精密仪器设备和高端特种制造等方面，其中光刻机双工件台是公司称作为核心战略产品；其他整机设备包括激光退火、硅片堆叠、扫描干涉光刻机；零部件有运动平台、EFEM、静电卡盘、隔振器等。

《科创板日报》记者了解到，光刻机是制造集成电路的核心设备，根据 SEMI 统计，2017 年按全球晶圆制造设备销售金额占比类推，目前刻蚀设备、光刻机和薄膜沉积设备分别占晶圆制造设备价值量约 24%、23%和 18%。

但光刻机长期被荷兰ASML公司垄断，其生产的最先进的光刻机采用EUV光源，可实现7nm芯片制程的生产。根据中银国际发布的研报，2018年全球光刻机市场上ASML市占率89%，2019年将继续上升。

而国内生产光刻机的厂商则“寥寥无几”，其中作为国产光刻机的龙头——上海微电子装备（集团）股份有限公司（以下简称“上海微电子”）承担着部分光刻机国产化的重任，有业内人士表示，上海微电子已量产的光刻机中性能做好的是90nm光刻机，但目前公司IC前道光刻机水平与ASML差距明显。

此外上文也提及到，根据瓦圣纳协议，ASML出口EUV到中国需要取得荷兰政府的出口许可，此前中芯国际向ASML购买EUV光刻设备遭禁运的“假消息”，也让欲进口光刻机的芯片生产商们惊出一身冷汗。

毋庸置疑的是，解决我国芯片制造上“卡脖子”的问题，实现光刻机国产化是半导体设备商们的未来发展方向。

华卓精科官网显示，其生产的光刻机双工件台主要应用于65nm及以下节点的ArF干式、浸没式步进扫描光刻机、KrF步进扫描光刻机，单台系列产品应用于i线、g线步进扫描光刻机及封装光刻机等。

公司称，其光刻机双工件台打破了ASML公司在工件台上的技术垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。

上述这款产品是否能够撼动ASML公司的市场占有地位？又是否能给光刻机的国产化道路注入“强心剂”，随着后续的文件被上交所受理，相关答案将揭晓，《科创板日报》记者亦会持续保持关注。