近日，由苏州纳米科技发展有限公司与日本爱发科共建的PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室落户苏州纳米城，双方将共同推动PZT压电薄膜材料在MEMS器件制造领域的应用。
日本爱发科株式会社（ULVAC)代表取缔役执行役员社长岩下节生，苏州工业园区党工委委员、管委会副主任孙燕燕等出席签约仪式。
PZT压电薄膜材料可减小MEMS芯片面积、简化生产工艺、提高制造良率、降低生产成本，日本爱发科是该材料生产设备的全球引领者。建设“PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室”，将有利于壮大苏州工业园区MEMS产业实力，也有利于加快中国MEMS企业创新步伐。
园区纳米产业城
纳米技术应用产业是苏州工业园区的区域战略性产业，截至2018年底，苏州工业园区集聚590多家纳米企业，产值突破660亿元，也被誉为全球纳米创新资源最集聚的八大区域之一。
苏州工业园区近年来，坚持把科技创新作为区域发展的核心战略，坚持在全球范围配置创新资源，构建开放型创新体系，优化完善创新生态圈，积极构筑纳米产业先发集群优势。
管委会副主任孙燕燕表示：欲通过此次签约，使PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室成为中国MEMS产业的新地标，进一步促进中日两国科技交流与合作。同时，我们将积极构建国际一流营商环境，以更有温度的服务、更大力度的支持，助力MEMS产业实现跨越发展。
MEMS产业是“中国芯”有望取得突破的关键领域之一，是纳米技术应用产业的重要细分领域，也是苏州工业园区推进产业高端化、加快发展动能转换的重要领域。
据了解，MEMS中试平台是中国首条市场化、全开放、工业级的6英寸微纳机电制造中试线，是国内工艺能力最全、流片产品最多的公共服务平台。在该平台的带动下，苏州工业园区已成为中国MEMS产业第一园，集聚了一批MEMS创新企业，五家企业位列全国MEMS十强。
PZT压电陶瓷。
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