设备外围需求指标 晶圆打标机FTR -220I

设备外围需求指标

晶圆打标机FTR -220I

外形尺寸： 760mm(宽) x 1600mm(深) x 1700mm(高) (不含三色灯尺寸)

自带吸尘器尺寸：400 mm x 300 mm x 350mm（不包含在设备主体内，需需专门放置空间）

重量：约 1 T

安放空间最低要求：1.8米 x 2 米 x2.6 米 ，前部需依照使用情况再预留出上下料空间。

厂房要求：门宽度不小于1.5米，门高不小于2米。

地面要求：地面承重不小于5kN/㎡

移机设备：3T叉车一台

电源：220VAC 50Hz  ，设备及配套设施总负荷约3KW, 需三孔插座1支。

废气排放管道：设备自带集尘系统（无排放口，需要定期清理），或可连客户废弃管路，100mm接口。

吸尘器尺寸：400 mm x 300 mm x 350mm

工作间温湿度：温度：22±2℃；湿度不高于50%

振动要求：远离振源

电磁干扰要求：远离电磁干扰源

如需连接网络请预留网络接口。