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苏大维格国家重大科学仪器设备开发专项项目通过综合验收

发布时间:2019-07-24 15:42

由苏大维格牵头的国家重大科学仪器设备开发专项“纳米图形化直写与成像检测仪器的研发与应用”项目通过综合验收。该项目在首席专家陈林森的带领下,联合中科院上海光机所、上海理工大学、中科院苏州纳米所等上、中、下游产学研用7家单位的核心研发团队,研发内容涉及仪器整机、关键部件和应用研究。成功研制并商业化了4类激光直写设备,分别是小型化图形化直写与检测系统、高速图形化直写系统、混合图形化直写系统和动态图形直写与检测系统,组建了“模块化、知识密集、可升级和快速配置”微纳柔性制造的创新平台。通过了仪器设备的ISO 9001质量管理体系认证和CE认证。

通过项目的顺利实施,打通了科学实验、小试、中试到成果转化全产业链环节,有效提升了行业整体创新水平与自我装备能力,真正形成面向产业发展需求的协同机制。仪器设备广泛应用于清华大学、上海交大、中电科研究所等国内著名高校和科研机构,并出口韩国、日本、以色列等国家。同时在“柔性微纳压印”、“功能光电材料与器件”等方向实现了延伸应用目标(微纳光学印材、超薄导光器件、柔性触控传感器件、微纳结构功能薄膜等)。

在项目打下的坚实基础上,研发团队将持续提升仪器总体性能,扩大仪器应用范围,拓展设备在半导体等领域的应用,并加快推进产业化进程,扩大仪器设备的产能。提升我国在高端微纳图形化器件和制备水平和能力,参与国际竞争。


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